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XD602三维压电位移台,200μm/轴行程!

XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台,它的行程范围为200μm/轴,四个角位分别留有安装固定孔位,易于机构安装。负载安装平台留有10个M3固定位,适于不同结构负载的安装。它的外观较薄,非常易于系统集成。

特点

•XYZ三维运动   •行程200μm/轴   •超薄体积   •可选闭环版本获取更高精度

开环与闭环版本可选

XD602压电位移台可以选择开环或闭环版本,闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该纳米定位台实现较高的线性度与重复度。

配套控制器

XD602系列压电位移台,可搭配芯明天E70系列压电控制器使用,模拟与数字控制,体积小巧,高性能搭配。

技术参数:

型号:XD602

运动方向:X/Y/Z

标称行程范围(0 ~120 V):160µm

行程范围(0~150V):200µm

传感器类型:SGS

开环分辨率:8nm

闭环线性度:0.2%F.S.

闭环重复定位精度:0.1%F.S.

空载谐振频率:270Hz

加载100g负载谐振频率:110Hz

50%行程空载使用频率:20Hz

台体材料:

工作温度范围:0~50 ℃

承载能力:300g

 

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