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电容闭环快速刀具微纳米压电定位系统!

基于快速刀具伺服FTS系统的单点车削是加工光学自由曲面的重要方法之一,而传统的直线刀具伺服的工作频率很低,并且限制了加工的面形的复杂度和加工效率。工业的快速发展要求非常高的加工精度、复杂度及效率,目前比较成熟的FTS技术之一为PZT压电促动直线伺服系统,可实现微米级位移、纳米级精度及毫秒级高频响应。

为解决部分快刀加工问题,芯明天专门设计研发了P93系列快速刀具定位台及控制系统,它采用PZT压电陶瓷驱动,并使用电容式闭环传感器,具有非常高的定位精度,可达几纳米。

P93系列快速刀具定位台及E01.D1压电控制器

该压电快速刀具定位系统的控制原理是通过模拟或数字控制输入信号,控制E01.D1压电控制器输出控制电压,施加到P93快速刀具定位台,再由定位台内部的电容传感器实时检测定位台的运动位移,将电容传感信号反馈到E01.D1的电容传感模块,再经过E01.D1的伺服传感模块进行信号处理,再对输出电压进行调节,该闭环控制的响应时间在几毫秒至十几毫秒间。

技术参数

快速刀具定位台型号:P93.X70C

标称行程范围:65μm@120V

行程范围:81μm@150V

传感器:CAP

闭/开环分辨率:7/3nm

闭环线性度:0.05%F.S.

闭环重复定位精度:0.03%F.S.

俯仰/偏航/滚动:<15μrad

推/拉力:400/50nm

运动方向刚度:5N/μm

空载谐振频率:0.15kHz

闭/开环空载阶跃时间:10/7ms

闭环空载工作频率:50Hz@10%行程

闭环空载工作频率:100Hz@100%行程

承载能力:20kg

静电容量:15μF

材质:

重量:4kg

工作温度:10~50℃

压电控制器型号:E01.D1C

通道数:单通道

输出电压:0~120V/150V

带宽:10kHz

传感输出电压:0~10V

自发波形:正弦/方/三角/锯齿波

液晶键盘控制

上位机软件控制

VC++,Matlab,Labview等

RS-232、RS-422、USB通信接口

支持二次开发

尺寸图

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