压电物镜位移台是专为驱动物镜头进行纳米级快速步进、扫描而设计的，它与压电纳米定位台、压电平台具有相同的原理，与之不同之处是具有专门针对物镜头的特殊螺纹适配接口，非常便于物镜头的连接与固定。

从上图中可看出，在外观上，压电平台与压电物镜位移台显著不同。

以芯明天P76压电物镜位移台为例，它的外形类似中空的圆柱形，结构内部采用对称式的驱动机构，在内侧中空位置固定物镜头，且物镜螺纹适配器可根据客户要求选择或定制。

芯明天P76压电物镜位移台

P76压电物镜位移台的行程为100μm（1μm是一百万分之一米），它的分辨率可高达2.5nm（1nm为十亿分之一米）；它的承载能力为500g，并且它的扫描阶跃时间可达2ms。配备闭环传感器后，它的重复定位精度可达满行程的0.02%。

闭环版本详细参数如下。 

型号：P76.Z100S

运动自由度：Z

行程范围（0~120V）：80μm

行程范围（0~150V）：100μm

传感器类型：SGS

线性度：0.05%F.S.

重复定位精度：0.02%F.S.

推/拉力：70/10N

运动方向刚度：0.8N/μm

空载谐振频率：800Hz

空载阶跃时间：5ms

10%行程空载工作频率：400Hz

静电容量：7.2μF

重量：520g

通过激光准直仪测量P76压电物镜位移台运动的直线性。 

应用举例

P76压电物镜位移台应用于显微扫描成像，以测量纳米结构。

下图应用中采用的是倒置使用压电物镜位移台，显微镜与物镜位移台位于样品的下方。该系统采用笼式结构组成，利用光学测量原理，通过P76位移台的纳米级高精度快速步进扫描，可对纳米结构进行高精度的测量，该测量非常适于生物、医疗等应用，同时它也是纳米加工中*的步骤。