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压电物镜位移台用于扫描显微成像!

压电物镜位移台是专为驱动物镜头进行纳米级快速步进、扫描而设计的,它与压电纳米定位台、压电平台具有相同的原理,与之不同之处是具有专门针对物镜头的特殊螺纹适配接口,非常便于物镜头的连接与固定。

从上图中可看出,在外观上,压电平台与压电物镜位移台显著不同。

以芯明天P76压电物镜位移台为例,它的外形类似中空的圆柱形,结构内部采用对称式的驱动机构,在内侧中空位置固定物镜头,且物镜螺纹适配器可根据客户要求选择或定制。

 

芯明天P76压电物镜位移台

 

P76压电物镜位移台的行程为100μm(1μm是一百万分之一米),它的分辨率可高达2.5nm(1nm为十亿分之一米);它的承载能力为500g,并且它的扫描阶跃时间可达2ms。配备闭环传感器后,它的重复定位精度可达满行程的0.02%。

 

闭环版本详细参数如下。 

型号:P76.Z100S

运动自由度:Z

行程范围(0~120V):80μm

行程范围(0~150V):100μm

传感器类型:SGS

线性度:0.05%F.S.

重复定位精度:0.02%F.S.

推/拉力:70/10N

运动方向刚度:0.8N/μm

空载谐振频率:800Hz

空载阶跃时间:5ms

10%行程空载工作频率:400Hz

静电容量:7.2μF

重量:520g

 

通过激光准直仪测量P76压电物镜位移台运动的直线性。 

 

应用举例

P76压电物镜位移台应用于显微扫描成像,以测量纳米结构。

下图应用中采用的是倒置使用压电物镜位移台,显微镜与物镜位移台位于样品的下方。该系统采用笼式结构组成,利用光学测量原理,通过P76位移台的纳米级高精度快速步进扫描,可对纳米结构进行高精度的测量,该测量非常适于生物、医疗等应用,同时它也是纳米加工中不可或缺的步骤。

 

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