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压电陶瓷驱动柔性铰链机构实现超精密定位

近年来,随着科学技术的发展,在半导体、精密测量、超精密加工和纳米技术等领域对定位精度有着越来越严苛的限制,这就需要高性能的超精密压电定位台作为技术。

为了实现纳米级的精密定位,需要高精度的驱动方式和传动方式,使定位台达到纳米级的位移分辨率。芯明天压电纳米定位台利用压电陶瓷作为驱动元件,柔性铰链机构作为传动装置构成超精密定位系统可实现纳米级精密定位。

芯明天纳米定位台采用的是柔性铰链机构的弹性形变。下图是芯明天柔性铰链在压电机构中的应用,实现高分辨率以及大位移行程。

 

柔性铰链机构结构紧凑且无摩擦,适合与压电陶瓷组成分辨率高,频响高的超高精度纳米定位台。同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧,避免压电陶瓷承受拉力,提高压电纳米定位台的使用寿命。

芯明天压电纳米定位台

芯明天压电纳米定位台以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴的精密运动,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性。

 

产品应用

超精密测量

采用芯明天压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制,从而完成1mN的力控制实验。

 

超精密机械加工

压电纳米定位台带动刀具微纳米级进给,从而实现光学非球面、微结构及模具纳米级超精密加工。

 

 

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