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压电扫描台应用于显微成像

更新时间: 2018-12-17

压电扫描台是由压电叠堆陶瓷驱动的、电压信号控制、可产生微纳米级步进及位移的运动平台。芯明天压电扫描台步进精度一般可达约3nm,运动范围约0~500μm ,压电扫描台的运动方向可分为X向、Z向、XY向或XYZ向运动。

压电扫描台是压电纳米定位台的一种,主要的不同是在中心增加了通孔,更适于透光应用。

以下为芯明天公司生产的几种典型压电扫描台。

 

P78.Z300压电扫描台集成于显微聚焦系统

P78.Z300压电扫描台是产生Z向运动的压电扫描台,它的Z向运动范围可达300μm,步进分辨率可达5nm,非常适于显微成像调节。

P78.Z300压电扫描台基本技术参数如下:

· 行程范围:300μm 

· 运动方向:Z向

· 分辨率:5nm

· 承载能力:0.5kg

· 通孔尺寸:64×64mm

· 外形尺寸:100×100×30mm

为方便P78.Z300压电扫描台带载样品,可加工制作转接装置,如果您自己进行加工,转接装置加工的平面度、粗糙度、平行度等要足够高,才能保证不影响样品聚焦精度,另外要注意转接装置也是压电扫描台的负载,需考虑其与样品的总质量在压电扫描台的负载能力范围。下图为一种简单的转接装置。

 

在标准显微成像系统中,一般步进精度达不到纳米量级,在显微成像系统中集成P78.Z300压电扫描台,可大幅提高聚焦的精度。

下图中,左图为一个未集成压电扫描台且物镜倒置使用的成像系统;右图为在此成像系统中集成了P78.Z300压电扫描台后的外观效果。该系统的空间充足,对压电扫描台的高度无特殊限制。而对于空间受限的成像系统,可选用芯明天P12N12P79P11等压电扫描台,具有更低的高度,集成所需空间更小。

 

在成像系统中集成压电扫描台的优势

1、大幅提高聚焦精度,达纳米量级

2、成本大幅降低

3、电压信号控制,聚焦速度快,达亚毫秒至毫秒量级

4、易集成,安装便捷,可定制

 

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