芯明天为您搭建光路稳定系统，该系统可产生光路的扰动信号，并可对扰动信号进行补偿，将光路中的扰动进行抑制、衰减，从而使光路稳定。

该光路稳定系统由PSD光源激光器、用于扰动模拟的压电偏转镜及控制器、用于补偿的压电偏转镜及控制器、光信号传感器以及偏差比较电路组成。

光路稳定系统

该系统组成部件

光源激光器×1台

光功率及波长在PSD光信号传感器能接收范围内。

芯明天P33.T2K压电偏转镜、E53.B3压电控制器及支架×各两套

该P33.T2K压电偏转镜产生的光束偏转范围达6mrad，工作频率可达80Hz。

PSD光信号传感器×1台

X、Y轴测量行程：±2mm；响应时间：<20 µs。对PSD光信号传感器量程的选择取决于入射到PSD光信号传感器中入射光始发点到PSD光信号传感器间的距离。

光路稳定系统工作原理

该光路稳定系统的基本原理为：光源激光器发出的光束经过干扰用压电偏转镜及补偿用压电偏转镜反射后，被PSD光信号位置传感器接收，并反馈给补偿用压电偏转镜控制器，通过其内部偏差比较电路的计算，输出补偿电压，驱动补偿用压电偏转镜进行角度调整，将干扰信号进行补偿、衰减。

在操作使用前，需要将PSD光信号位置传感器与补偿压电偏转镜控制器进行标定，芯明天E53.B3压电控制器具有偏差比较电路。标定好后，启动干扰用压电偏转镜的控制器，驱动干扰压电偏转镜，产生模拟干扰信号（信号频率、幅度、波形可调）。PSD光信号位置传感器将接收到的光位置信号反馈到补偿用压电偏转镜控制器，通过其内部偏差比较电路，输出补偿所需的电压信号，驱动补偿压电偏转镜进行与干扰信号相同但相反的角度调整。

测试实验结果

在X向或Y向150微米、10Hz干扰信号下，经过闭环补偿后，干扰信号减小至5微米。