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芯明天超高精度P21压电旋转台

更新时间: 2018-11-19

芯明天新推出P21系列压电旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,大旋转角度8.5mrad,承载能力达2kg,可带动镜片做精密旋转运动。

 

特性

·θz旋转

·大旋转角度8.5mrad

·闭环定位精度高

·体积小巧

 

典型应用

·光路调整

·光束扫描

·干涉/计量

 

小体积、高分辨率、高精度

P21θz一维旋转台采用机构放大设计原理,可以实现大8.5mrad的旋转,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。

采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

技术参数

P21.R7S

运动自由度:θz

标称旋转角度(0~120V):6mrad(~1200秒)   

大旋转角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)

传感器类型:SGS

闭环分辨率:0.4μrad(~0.08秒)

闭环线性度:0.5%F.S.

闭环重复定位精度:0.2%F.S.

推/拉力:10/5N

运动方向刚度:1N/μm

空载谐振频率:1.1kHz

大承载:2kg

静电容量:1.8μF

材质:铝

重量:105g

 

应用实例

P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。

 

 

推荐控制器

P21为θz一维压电旋转台,单通道压电控制器即可驱动控制,闭环版本P21推荐配套E01系列闭环控制器,实现θz高精度旋转定位控制。

 

E01.D1压电控制器

 

·E01.D1

·0~120V/150V输出

·平均功率7W/35W

·上位机通信、模拟、旋钮控制

 

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