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芯明天大负载XP-63X高精度压电纳米定位台

芯明天XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。

 

特点

· 1~3维自由组合

· 大行程68μm

· 大承载5kg

· 亚毫秒响应时间

 

体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高

XP-63X系列压电纳米定位台特殊的结构设计,具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率,响应时间可以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载,响应时间仅为5ms。XP-63X系列产品体积小巧,XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm,易于与其他平台设备集成。

闭环版本配置应变传感器,可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器,控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正,从而实现纳米级的精密定位。

 

技术参数

XP-633.XS

运动自由度: X

标称行程范围(0~120V):48μm

大行程范围(-20~150V):68μm

传感器类型:SGS

闭环分辨率:2nm

闭环线性度:0.15%F.S.

闭环重复定位精度:0.1%F.S.

推/拉力:480/80N

刚度:10N/μm

空载谐振频率:1.5kHz

大承载:5kg

静电容量:7.2μF

材质:铝

重量:450g

 

应用实例

采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制,从而完成1mN的力控制实验。

 

XP-633压电纳米定位台配套二维宏动台组成宏微复合机构,应用于精密加工中。

 

推荐控制器

XP-633为一维压电纳米定位台,推荐使用E53.D小体积压电控制器,体积小巧,易于集成。

 

 

E53.D压电控制器

 

·E53.D

·0~120V/150V输出

·模拟、上位机通信控制

·带宽10kHz

·尺寸80×148×27.5mm

 

kerning:1.0000pt;" >E01.D1压电控制器

 

 

·E01.D1

·0~120V/150V输出

·平均功率7W/35W

·上位机通信、模拟、旋钮控制

 

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