一维X轴压电扫描台，内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，具有较高的重复定位精度和动态定位性能。 P18.X900一维X轴压电扫描台特性 • 一维X向运动，行程可达1.11mm • 承载能力：1kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 P18.X600一维X轴压电扫描台特性 • 一维X向运动，行程可达740μm • 承载能力：2kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 P18.X200一维X轴压电扫描台特性 • 一维X向运动，zui大行程280μm • zui大承载2kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 P18.X300一维X轴压电扫描台特性 • 一维X向运动，zui大行程370μm • zui大承载3.5kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 大位移、大承载、高刚、高频响 | 频率负载曲线 | 应用实例-纳米光刻 | P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，P18.X300可以实现zui大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18.X300采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，zui大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间zui高可达10ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。 | 
| 在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。 
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应用 • 图像处理与稳定 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测量 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析 |
