P12系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。 P12.X/Z-D3为一维X或Z轴运动压电扫描台，结构紧凑，外形尺寸70×70×24mm，zui大行程可达110μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸达Φ35mm，非常适合于显微及扫描中的样品定位。 特性 • 一维X/Z向运动，zui大行程110μm/轴 • zui大承载0.7kg • 通孔尺寸：Ø35mm(Ø25mm可选 ) • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 外观形状 | P12.X-D3运动示意图 | P12.Z-D3运动示意图 | 
| 
| 
|
小体积、大位移、中心通孔 | 频率负载曲线 | P12.Z300闭环稳定时间图 | P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体积外形，尺寸仅为70×70×24mm，P12.X/Z-D3可以实现zui大110μm/轴的扫描范围，中心通孔可选35mm或25mm，25mm通孔对应台体外形尺寸为60×60×24mm。 台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高导向精度、纳米级分辨率等优点。 P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，确保了扫描台的可靠性与稳定性。 | 
| P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300zui大位移320μm闭环稳定时间图。 
|
应用 • 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测量 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定 • 生物技术 • 表面结构分析 P12全系列产品 P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。 中孔直径25mm版本： 
| 
| 
| 
| 
| P12.X一维 110μm运动范围 | P12.Z一维 110/210/320μm运动范围 | P12.XY二维 110μm/轴运动范围 | P12.XZ二维 110μm/轴运动范围 | P12.XYZ三维 110μm/轴运动范围 |
中孔直径35mm版本： 
| 
| 
| | | P12.X/Z-D3一维 110μm运动范围 | P12.XY/XZ-D3二维 110μm运动范围 | P12.XYZ-D3三维 110μm运动范围 | | |
|
