P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器。 P77.Z一维Z轴压电扫描台，zui大承载可达5kg，闭环扫描台精度更高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。 特性 • 一维Z向运动，zui大行程20μm • zui大承载5kg • 通孔直径：Ø106mm • 亚纳米级分辨率 • 响应速度快 • 闭环重复定位精度高 外观形状 | 产品运动示意图 | 台体采用直驱式机构设计，响应速度快 | 
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大孔径、大承载、高谐振频率 | 频率负载曲线 | 应用案例-大孔径干涉仪 | P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计，利用有限元分析优化，刚度可达8N/μm，空载谐振频率300Hz。 闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可实现纳米级的重复定位精度及线性度。 压电扫描台中心106mm的大通光孔，是光学移相器，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。 | 
| 芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。 
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应用 • 图像处理与稳定 • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 |
