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产品名称：小体积超精密电容测微仪

产品型号：

产品报价：

产品特点：小体积超精密电容测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。

更新日期：2023-09-15

发邮件给我们：ymy@coremorrow.com

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小体积超精密电容测微仪的详细资料：

小体积超精密电容测微仪

高精度测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，分为电感式、电容式、激光式。主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。


本次为大家带来一款芯明天小体积超精密电容式传感器。它由两部分组成，分别为电容探头及控制盒。电容探头为非接触式，尺寸为Φ10mm×18.5mm，通过电容测头可以测量0~500μm范围内的微小位移，测量分辨率可达1.25nm。控制盒尺寸仅有105×26×66mm^3，单通道输出，体积设计非常小巧，易集成。整体外观如下图所示。

图片

产品特点

测量范围 0~500 μm
分辨率可达1.25nm
非接触式测量
体积小、易集成

小体积超精密电容测微仪典型应用

图片

电容式传感器优势

1.稳定性好。电容传感器的电容值通常与电极材料无关，这有利于选择具有低温系统的材料，并且由于它产生的热量很少，因此对稳定性的影响很小。
2.结构简单。电容式传感器结构简单，易于确保高精度，并且可以做得很小，可以在特殊环境下测量，如高低温、强磁等恶劣环境。
3.动态响应良好。由于极板之间的静电引力很小，其运动部分可以做得非常小和薄，因此固有频率很高，动态响应时间短，并且可以在几兆赫兹的频率下工作，特别适合动态测量。
4.非接触式测量。使用非接触式测量时，可以减小工作表面粗糙度对测量的影响。

系统组成

芯明天电容测微仪由两部分组成，分别为电容测头/电容传感器、传感信号处理控制模块。

（1）电容测头/电容传感器

图片

芯明天该款电容测头（即电容传感器）是圆柱型，采用平行极板原理，当被测物与电容测头间的距离发生变化时，它可将这种距离变化转换为相应的容抗变化。
图片

原理图


技术参数
型号
C01D10
C02D10
C05D10
单位
量程范围
0~100
0~200
0~500
μm
静态分辨率
1.25
2.5
5
nm
动态分辨率
（1kHz）
50
100
200
nm
线性度
50
100
200
nm
重复度
2.5
5
10
nm
传感器直径
10
mm
被测表面
最小直径
10
mm
传感器线长
1.5
m
固定方式
径向装夹

探头尺寸
Φ10×18.5
mm
重量
(含线及连接器)
55
g



注：可定制1mm量程版本。



（2）传感信号处理控制模块

传感信号处理控制模块是专为匹配芯明天电容传感器而研发设计，主要功能是将电容传感器的位移信号转换为电信号。它具有小巧紧凑的外形，非常适用于实验室及工业等各种场合的应用。


图片

技术参数
控制器型号
E75.CapA1-H
单位
通道数
1

静态分辨率
0.00125
%F.S.
动态分辨率
0.05 (2kHz)
%F.S.
模拟信号输出速度
2
kHz
绝对误差
±0.2
%F.S.
线性度
0.05
%F.S.
重复精度
0.0025
%F.S.
信号温度稳定性
＜0.005
%FSO/℃
长期稳定性
＜0.04
%FSO/月
带宽
2
KHz（-3dB）
工作温度
+10~+50
℃
存储温度
-10~+75
℃
环境湿度
<85
%
供电电压
24VDC/±50mA
V
电压输出范围
（模拟）
0~10
V
传感器输出接口
SMA

尺寸（L×W×D）
105×26×66
mm
重量
0.18
kg



此外，芯明天具有模块化的电容传感器信号处理控制模块 - E09.CAP系列，它的测量通道数可在1至12通道间自由选择，同时也可根据需求定制更多的测量通道数。

图片

芯明天E09.CAP系列电容传感信号处理模块


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