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产品名称:XP-780系列大行程压电扫描台

产品型号:

产品报价:

产品特点:XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理, 可以实现最大220μm的位移行程,无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率,选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度,台体通孔使其适用于显微扫描等应用。

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XP-780系列大行程压电扫描台的详细资料:

   XP-780系列大行程压电扫描台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,实现X轴最大220μm的 位移,可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。

 

大行程、高精度、大负载

    XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理, 可以实现zui大220μm的位移行程,无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率,选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度,台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
   优异的结构设计使其具有非常高的刚度,承载能力大, 可带载5kg的样品作精密定位

1~3维扫描台

         XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格 型号,可以自由叠加组合。

XP-780系列压电扫描台典型应用


• SPM扫描显微镜    • 干涉
• 掩模/晶圆定位    • 计量
• 生物技术    • 表面结构分析

特性

• zui大位移220μm

• zui大承载5kg

• 通孔尺寸:25×25mm

• 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选

 

XP-780系列压电扫描台技术参数:

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

XP-780.XS XP-780.XK

 

单位

运动自由度

X

 

标称行程范围(0~120V)

160

μm±20%

zui大行程范围(-20~150V)

220

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

25×25

mm

闭/开环分辨率

10/5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<50

µrad

推/拉力

80/40

N

运动方向刚度

0.5

N/μm±20%

空载谐振频率

200

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

20/5

ms±20%

 

闭环空载工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

15

zui大承载

5

kg

静电容量

11

μF±20%

材质

 

重量

240

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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