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压电平台的分辨率能到多少?
  压电平台是指以压电陶瓷驱动器作为驱动元件,以柔性铰链机构为支撑导向的微位移运动平台,是实现动态纳米控制不可或缺的关键部分。在微操作器,磁盘驱动、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压印、纳米操纵等领域有着广泛的应用。
 
  该平台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链微位移机构、微位移测量传感器和控制系统组成。适用于激光卫星通信、激光雷达、超分辨率光学成像、光学测量、显微成像、半导体检测、表面检测、高密度存储。
 
  压电纳米定位产品具有纳米级分辨率及定位精度,集成到各种相关仪器及机械设备中,从而实现高精度纳米级定位与运动。了解压电纳米定位台的基本工作原理及性能,来选择适合您应用的压电纳米定位台吧。
 
  结合柔性铰链机构实现X/Z/XY/XZ/XYZ轴精细运动的压电平台。运动范围可达375μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有不错的稳定性,压电纳米定位台在精细定位领域中发挥着至关重要的作用。
 
  压电纳米定位台采用无摩擦柔性铰链导向机构,可实现亚纳米级分辨率。芯明天系列压电纳米定位台,配套系列压电控制,可实现0.5nm的步进分辨率。压电纳米定位台由容性压电陶瓷驱动,响应时间可快至毫秒级。芯明天系列纳米定位台配套大功率系列压电控制器,可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。
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