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纳米定位台正常工作需要什么条件?

更新时间: 2021-07-08

   纳米定位台为小体积1~3维压电运动平台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有非常高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有非常高的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,运动平台采用无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,且压电平台体积小巧、结构紧凑易于集成。
 
  考虑到纳米定位台将要运行的环境条件,对于获得既定应用的所需结果非常重要。
 
  这些条件包括:真空(HV,UHV等)磁场、温度、湿气、外部振动等。
 
  纳米定位台可由各种材料制成,例如殷钢,不锈钢,钛和铝。每个都有优点;但是,将压电平台的材料与外部系统的材料进行匹配以获得最佳结果通常很重要。铝是常用的材料,因为它具有良好的密度/刚度比。这对于需要磁场的应用也很好。Invar或SuperInvar之类的材料具有较低的热系数,当无法将温度考虑因素隔离开时,它们可以提供稳定性。不锈钢可用于需要更高刚度以及很高温度稳定性的应用中。当强度,稳定性和非磁性都非常重要时,可以考虑使用钛合金材料。
 
  定位台可以在非磁性定位的环境中运行。平台的设计考虑了特定的应用,并相应地由材料制成。可以针对特定应用设计压电平台,选择本体材料是该过程的重要组成部分。大多数平台都可以在中低真空下运行。
 
  定位台用于各种不同的环境。使用压电平台的设备中的振动可能导致性能低于预期指标。
 
  外部的机械干扰,附近的设备以及声音振动都可能导致定位不准确。为了获得最佳结果,应使用振动隔离来帮助控制系统中的外部振动。
 
  在外部环境中工作时,应使压电纳米定位系统不受潮。温度的大变化会导致设备移出压电平台的控制范围。应该对此类环境系统进行相应规划以获得最佳结果。
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