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压电倾斜镜的高速控制简介
   压电倾斜镜的内部是由压电陶瓷叠堆驱动,它可以产生θx、θy两个方向的同时偏转,一般可达的偏转行程为2°左右,同时也可产生Z向的升降运动,升降的位移一般为几百微米。
  压电倾斜镜的特点是偏转精度高,可达纳弧度量级;响应速度快,可达毫秒量级;体积小巧,易集成;性能不受磁、辐射等影响;可在超低温下使用,且可表现优秀的产品性能等。
  由于压电倾斜镜的机械谐振会降低自适应光学伺服控制系统的校正带宽﹐特研究补偿压电倾斜镜谐振特性的方法。根据压电倾斜镜机械谐振频率特性的动态模型和实测数据,握出了利用压电倾斜镜高压驱动器中现有的可编程逻辑门阵列(FPGA)设计多阶双二次型数字滤波器来优化系统的动态频率响应特性。基于多阶双二次型数字滤波器,高压驱动器能实时补偿驱动对象的频率特性,完成压电倾斜镜的正谐振和反谐振的同时补偿。将其与压电倾斜镜作为一体,可实现平坦的幅频特性,从而避免机械谐振,提高伺服控制带宽。
  相关实验结果表明:相对于传统的高带宽高压驱动器,提出的具有频率特性补偿功能的高带宽高压驱动器可在同样超调量下使系统误差带宽从56 Hz提高到了80 Hz,并且低频抑制能力也得到提高。具有频率特性补偿功能的高带宽高压驱动器更适合压电倾斜镜的高速动态应用。
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