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压电物镜扫描器是专门为聚焦显微而设计的
压电物镜扫描器是专门为聚焦显微而设计的
 
压电物镜扫描器为小体积大行程压电物镜扫描器,内置高性能压电陶瓷,闭环精度高,响应速度快、满行程线性度达纳米量级,可进行激光聚焦,已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
 
  压电物镜扫描器是专门为聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量小,具有超高聚焦稳定性,物镜扫描器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
 
  P73压电物镜定位器是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚焦显微扫描装置,产品体积小但可实现的位移高达550μm。
 
  P73采用柔性铰链导向机构,无机械摩擦、无机械间隙、纳米级分辨率,具有超高的定位精度及超快的响应速度。
 
  该系列压电物镜定位器具有大刚度、谐振频率高等特点,可以实现满行程20ms的阶跃时间,负载150g后阶跃时间小于30ms且重复度达满行程的0.05%F.S.。
 
  哈尔滨芯明天科技有限公司产品已广泛应用于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、生命科学、精密加工设备、新设计与医疗技术、数据存储技术、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、航空航天、图像处理等领域。芯明天正在为中国的工业自动化、国防、航天事业的发展贡献着自己的力量。
 
  P72为小体积大行程的压电物镜扫描器,内置高性能压电陶瓷,闭环精度高,响应速度快、满行程线性度达纳米量级,可进行激光聚焦,已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
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