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压电纳米定位台小体积、高精度

更新时间: 2019-03-26

   压电纳米定位台小体积、高精度、响应速度快,定位台是超高精密纳米定位系统,是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。压电定位台具有的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。
  由于工艺的不断成熟和成本的不断下降,陶瓷电机纳米定位台的性价比已经明显优于传统压电纳米台,甚至低于高精度的微型电机定位台,在很多应用中已经取代这两种产品。并且,陶瓷电机技术还在向更大的推力、更高的速度、更快的调制频率方向发展,在未来将会出现在越来越多的高技术应用领域。
  压电纳米定位台符合无摩擦导向原理,压电位移台无需维护,不存在磨损。更重要的是,其输出运动灵敏度不会受机械摩擦的影响。闭环产品(型号以S结尾)内部集成有高分辨率应变计位置传感器,其支持高精度且可重复的运动,而且还会对促动器蠕变进行补偿,并且对温度不敏感。闭环产品即可开环也可闭环控制。
  芯明天压电纳米定位台的驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。1-3维运动,行程范围大可达1.1mm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可以选择配置高精度电容、电感、电阻应变计传感器实现纳米级分辨率及定位精度且具有*的可靠性。压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
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