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P63系列1~3维超小体积压电纳米定位台

P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。

 

特性

•  1~3维自由组合

•  位移行程8μm

•  zui大承载0.8kg

•  重复定位精度可达纳米级

•  亚毫秒响应时间

 

1-3维平移台

P63系列压电纳米定位台,包括XZXYXZXYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

P63图1

 

典型应用

•  显微成像                     •  纳米定位

•  生物技术                     •  半导体技术

•  质量保证测试              •  微车削

•  原子力显微镜

 

小体积、高精度、响应速度快

P63系列压电纳米定位台zui重要的特点是超级精密且体积非常小巧,尺寸仅为30×30×42mmX轴尺寸为30×30×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。

P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是为AFMSPMSTM等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

 

频率负载曲线

P63图2

 

应用实例

P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。 

 

P63图3

 

 

P63.XYZ技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P63.XYZ7S

P63.XYZ7K

单位

运动自由度

X、YZ

 

标称行程范围

0~120V

5.5/轴

μm±20%

zui大行程范围

-20~150V

8/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

/开环分辨率

0.2/0.1

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

µrad

/拉力

7/2

N

运动方向刚度

X0.9/Y1/Z1.2

N/μm±20%

空载谐振频率

X0.9/Y0.95/Z1.2

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

1.5/0.3

ms±20%

闭环空载

工作频率

10%行程

200

Hz±20%

100%行程

50

Hz±20%

zui大承载

0.4

kg

静电容量

0.8/轴

μF±20%

材质

 

重量

160

5%

出线长

1.5

m±10mm

 

压电纳米定位台的应用举例

光纤端面检测

光纤连接处出现问题是网络故障的主要原因,因此光纤端面的检测至关重要。

压电纳米定位台带动镜片做精密运动,配合显微镜完成对光纤端面质量的干涉检测。

 

P63图4

 

光纤对接

将光纤固定在压电纳米定位台上,通过压电纳米定位台的精密移动对光纤端面进行三维位置调整,从而实现光纤的精密对接。

 

P63图5

 

硬盘测试

快速、准确的读取计算机硬盘磁道的宽度对于提高硬盘存储信号密度和读取时间非常重要,压电纳米定位台纳米级定位精度为高精度磁盘磁道定位提供了解决方案。

 

P63图6

 

电化学加工

在电化学腐蚀加工中,通过微动平台Z向微小移动,带动悬臂梁悬挂加工件上下移动,完成与电解液的接触,从而实现腐蚀加工。

 

P63图7

 

3D锡膏检测

锡膏测厚仪是一种利用光栅投影技术,将印刷在PCB板上的锡膏(红胶)厚度、面积、体积等分布测量出来的设备。为了收集和高度有关的信息,在拍摄的图像上采用二维压电纳米定位台带动光栅移动4次,移动一次拍摄一组图像,zui终合成一组图像显示出测试结果

 

P63图8

 

 

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