压电平移台的主要性能特点
性能特点
1.压电平移台采用高性能的压电陶瓷驱动
2.具有开环和闭环两种规格型号
3.采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构
5.采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力
6.超高性能的开/闭环扫描平台
压电平移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，压电平移台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，复合式的柔性导向系统具有超高的导向精度、有效消除侧向运动分量，同时具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。超大行程2000μm，压电纳米定位台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电平移台具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电平移台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。
