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压电物镜扫描器的特性说明

点击次数:914 发布时间:2018/5/16
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详细介绍:

压电物镜扫描器的特性说明

  产品特性
  外形尺寸:40x48x34.5mm,结构紧凑,易于集成,灵活的螺纹转接器,zui大螺纹接口M28;
  行程为100um,分辨率为0.5nm;
  采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统,快速响应;
  内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
  内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。
  压电物镜扫描器是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜位移器,压电物镜位移器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电物镜位移器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电位移器具有的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。

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