H32.TR4S系列三轴角度运动高精度压电偏摆/旋转台
H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台其内部采用无摩擦柔性铰链结构设计，可实现θx、θy偏摆及θz旋转三维运动。它具有响应速度快、闭环定位精度高、负载大等特点。因其优异的性能，可在模拟振动环境中作为模拟振动台，完成高精度、快速的微振动控制，从而满足用户对精密装备控制精度的测试分析，以验证和提高精密仪器与装备的性能。产品外观如下图所示。
产品特点
θx、θy偏摆及θz旋转
θx、θy偏摆角度可达4.6mrad/轴
θz旋转角度可达3.2mrad
分辨率可达0.05μrad
承载可达1kg
闭环版本定位精度高
亚毫秒响应时间
产品应用
振动试验
空间扰动模拟系统
干涉/计量
大负载运动试验
技术参数
型号 | H32.TR4S/K | |
运动自由度 | θx、θy、θz | |
驱动控制 | 4路驱动，3路传感/4路驱动 | |
标称偏摆角度（0~120V） | θxθy: 3.7mrad θz: 2.6mrad | |
Max.偏摆角度（0~150V） | θxθy: 4.6mrad θz: 3.2mrad | |
传感器类型 | SGS/- | |
分辨率 | θxθy: 0.15/0.07μrad θz: 0.1/0.05μrad | |
闭环线性度 | 可达0.03%F.S. | |
闭环重复定位精度 | 可达0.02%F.S. | |
空载谐振频率 | θxθy: 250Hz θz: 560Hz | |
带载谐振频率@1kg | θxθy: 140Hz θz: 200Hz | |
静电容量 | θxθy: 14.4μF θz: 10.8μF | |
阶跃时间 | 30ms@1kg/10ms | |
承载能力 | 水平安装 | 1kg |
立式安装 | 0.5kg | |
倒置安装 | 0.5kg | |
材质 | 不锈钢、铝合金 | |
重量（不含线） | 2240g | |
配套控制器
E70.D4系列压电控制器非常适用于驱动H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台。它是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的四通道压电控制器。采用DC24V供电，输出电压为0~120V或0~150V，开闭环可选，模拟及数字控制，可通过串口、USB或网口进行数字通信，且体积小，非常易于集成。
