芯明天压电纳米探针台主要由压电陶瓷作为驱动的压电马达和探针组成，在新材料、新能源、半导体、生物医药、基础科研等前沿领域中具有广泛的应用，主要作用是完成纳米级别物性测量以及纳米级别运动操作，可在三维空间上实现精准定位。随着分析仪器技术的高端化发展，以及不断拓宽的应用场景，压电纳米探针台成为了分析仪器的重要组成部分。

芯明天压电纳米探针台的运动形式是多样化的，可任意选择纳米探针台的运动维度、运动方向、运动范围、运动精度、探针模组数量、探针夹具类型等。本次介绍一款具有中心探针平台并搭配4个探针模组的纳米探针台系统。

中心探针台，可进行XYZ三轴运动，XY向运动行程≥20mm，Z向运动行程≥20μm，可在低温真空环境下使用，使用温度范围在0℃到60℃，使用真空度可达到10^-4Pa。四个探针模组可进行XYZ直线及R旋转运动，XY方向行程≥5mm，Z向行程≥0.5mm，探针的R向旋转达180°。

产品特点

每个探针拥有7个运动维度

毫米运动与微米运动相结合

毫米行程达≥20mm

高精度可达≤2nm

使用温度范围达0℃到60℃

真空环境使用条件达10^-4Pa，可定制

运动轴、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制

产品应用    

半导体行业、电学性能测试分析、材料、新能源、物理学、生物医学及其他等。 

技术参数

E53.D1E系列压电控制器适用于驱动芯明天压电纳米探针台。它是单通道压电控制器，采用数字控制，可闭环伺服或开环控制，外观体积非常小巧，尺寸仅为105×103×30.1mm^3，非常适配于尺寸紧凑的压电纳米探针台。

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