新品推荐|XD605.X90一维大负载电容传感压电纳米定位台及配套电容闭环控制器
X向运动、大负载
电容式传感器
三种位姿、易使用
产品应用
技术参数
| 型号 | XD605.X90C/K |
| 运动自由度 | X |
| 驱动控制 | 1路驱动，1路电容传感 |
| 标称行程范围（0~120V） | 76μm |
| 行程范围（0~150V） | 95μm |
| 传感器 | CAP/- |
| 分辨率 | 3nm |
| 闭环线性度 | 0.02%F.S./- |
| 闭环重复定位精度 | 0.005%F.S./- |
| 俯仰 | <5μrad |
| 偏航 | <5μrad |
| 滚动 | <5μrad |
| 空载谐振频率 | 615Hz |
| 带载谐振频率@5kg | 310Hz |
| 闭环阶跃时间@5kg | 8ms@20μm |
| 承载能力 | 正立10kg |
| 卧式5kg | |
| 倒置10kg | |
| 静电容量 | 37μF |
| 材质 | 铝合金 |
| 重量（含线） | 5.7kg |
配套控制器
