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新品推荐|XD605.X90一维大负载电容传感压电纳米定位台及配套电容闭环控制器

更新时间: 2024-02-23
新年伊始,万象更新。芯明天持续深挖行业需求,攻克技术壁垒,推陈出新,为客户解决一个又一个精密定位技术的难题。

 

本次为大家介绍一款一维大负载电容传感压电纳米定位台-XD605.X90。产品外观如下图所示。
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X向运动、大负载


XD605.X90可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm,负载可达10kg,分辨率可达3nm,为大负载应用提供更优质的解决方案。


电容式传感器


XD605.X90闭环版本采用电容传感,闭环线性度可达0.021%F.S.,闭环重复定位精度可达0.005%F.S.,由于电容式传感器是根据两个电极之间的电容变化来测量物理量,所以它不受温度、磁场环境等因素影响,在精度、响应速度、稳定性、可靠性和成本方面具有很多优势。


三种位姿、易使用


XD605.X90它在使用放置方式上进行突破,可正立、侧卧、倒置三种位置使用,可满足更多设备或系统对负载位姿的要求。
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产品应用


显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。


技术参数


 

型号

XD605.X90C/K

运动自由度

X

驱动控制

1路驱动,1路电容传感

标称行程范围(0~120V)

76μm

行程范围(0~150V)

95μm

传感器

CAP/-

分辨率

3nm

闭环线性度

0.02%F.S./-

闭环重复定位精度

0.005%F.S./-

俯仰

<5μrad

偏航

<5μrad

滚动

<5μrad

空载谐振频率

615Hz

带载谐振频率@5kg

310Hz

闭环阶跃时间@5kg

8ms@20μm

承载能力

正立10kg

卧式5kg

倒置10kg

静电容量

37μF

材质

铝合金

重量(含线)

5.7kg

 







配套控制器


E53.D1C-H系列压电控制器是一款模拟与数字式控制器,具有闭环伺服控制功能,是专为驱动配备电容式传感器的压电产品而研发设计。外形尺寸为148×125×27.5mm,供电为24VDC/1.5A。机身带有散热区域,可快速导出产生的热量,且体积小巧,易于集成。
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XD605.X90C电容式压电平台与E53.D1C-H电容闭环压电控制器

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