欢迎来哈尔滨芯明天科技有限公司!我们将为您提供到位的服务!销售热线:0451-86268790 17051647888
联系我们Contact us
公司名称:哈尔滨芯明天科技有限公司
联系人:杨先生
固话:0451-86268790
手机:17051647888
地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
首页 > 技术文章 > 芯明天小体积超精密电容式传感器、电容测微仪!
芯明天小体积超精密电容式传感器、电容测微仪!
高精度测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器,分为电感式、电容式、激光式。主要用于高精度长度(深度、高度、厚度、直径、锥度)测量、振动测量、微位移检测等,在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。
本次为大家带来一款芯明天小体积超精密电容式传感器。它由两部分组成,分别为电容探头及控制盒。电容探头为非接触式,尺寸为Φ10mm×18.5mm,通过电容测头可以测量0~500μm范围内的微小位移,测量分辨率可达1.25nm。控制盒尺寸仅有105×26×66mm^3,单通道输出,体积设计非常小巧,易集成。整体外观如下图所示。
图片

产品特点

图片
测量范围 0~500 μm
分辨率可达1.25nm
非接触式测量
体积小、易集成

典型应用

图片

图片

电容式传感器优势

图片
1.稳定性好。电容传感器的电容值通常与电极材料无关,这有利于选择具有低温系统的材料,并且由于它产生的热量很少,因此对稳定性的影响很小。
2.结构简单。电容式传感器结构简单,易于确保高精度,并且可以做得很小,可以在特殊环境下测量,如高低温、强磁等恶劣环境。
3.动态响应良好。由于极板之间的静电引力很小,其运动部分可以做得非常小和薄,因此固有频率很高,动态响应时间短,并且可以在几兆赫兹的频率下工作,特别适合动态测量。
4.非接触式测量。使用非接触式测量时,可以减小工作表面粗糙度对测量的影响。

系统组成

图片
芯明天电容测微仪由两部分组成,分别为电容测头/电容传感器、传感信号处理控制模块。

(1)电容测头/电容传感器

图片
芯明天该款电容测头(即电容传感器)是圆柱型,采用平行极板原理,当被测物与电容测头间的距离发生变化时,它可将这种距离变化转换为相应的容抗变化。
图片
原理图
技术参数
型号
C01D10
C02D10
C05D10
单位
量程范围
0~100
0~200
0~500
μm
静态分辨率
1.25
2.5
5
nm
动态分辨率
(1kHz)
50
100
200
nm
线性度
50
100
200
nm
重复度
2.5
5
10
nm
传感器直径
10
mm
被测表面
最小直径
10
mm
传感器线长
1.5
m
固定方式
径向装夹

探头尺寸
Φ10×18.5
mm
重量
(含线及连接器)
55
g
注:可定制1mm量程版本。

(2)传感信号处理控制模块

传感信号处理控制模块是专为匹配芯明天电容传感器而研发设计,主要功能是将电容传感器的位移信号转换为电信号。它具有小巧紧凑的外形,非常适用于实验室及工业等各种场合的应用。
图片
技术参数
控制器型号
E75.CapA1-H
单位
通道数
1

静态分辨率
0.00125
%F.S.
动态分辨率
0.05 (2kHz)
%F.S.
模拟信号输出速度
2
kHz
绝对误差
±0.2
%F.S.
线性度
0.05
%F.S.
重复精度
0.0025
%F.S.
信号温度稳定性
<0.005
%FSO/℃
长期稳定性
<0.04
%FSO/月
带宽
2
KHz(-3dB)
工作温度
+10~+50
存储温度
-10~+75
环境湿度
<85
%
供电电压
24VDC/±50mA
V
电压输出范围
(模拟)
0~10
V
传感器输出接口
SMA

尺寸(L×W×D)
105×26×66
mm
重量
0.18
kg
此外,芯明天具有模块化的电容传感器信号处理控制模块 - E09.CAP系列,它的测量通道数可在1至12通道间自由选择,同时也可根据需求定制更多的测量通道数。
图片
芯明天E09.CAP系列电容传感信号处理模块
全国统一客服电话:

17051647888

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
联系人:杨先生
手机号码:17051647888
固定电话:0451-86268790

哈尔滨芯明天科技有限公司(www.coremorrow.cn)主营:压电促动器,压电移相器,压电快反镜,快速刀具定位器

哈尔滨芯明天科技有限公司 版权所有  ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网  网站地图

在线客服
在线客服
用心服务 成就你我
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站