通常情况下，压电纳米定位台被设计用于室温环境。但仍有很多用户需要真空环境下使用压电纳米定位台。例如，当研究需要基于真空条件时，就需要构建一个相应的真空实验环境，相应精密定位用的压电纳米定位台就需要工作在真空环境下。既要保证压电纳米定位台在真空环境下正常工作，同时压电纳米定位台要保证不会因自身磨损、漏气或产生过多热量，从而避免对真空环境的真空度造成不利影响，如改变真空度等。

根据真空度，真空环境至少可分为真空和超高真空，真空度达到10^-6mbar，即为中等真空环境，而真空度达到10^-9mbar，即可称为超高真空。

XD731系列压电纳米定位台是专为真空应用环境而设计，它的真空兼容度可达10^-7mbar。它可同时在X、Y、Z三个方向进行纳米级位置调整，具有优秀的灵活性。

•三维XYZ运动

•真空兼容

•外形紧凑

•可选配闭环传感器

•真空环境三维快速扫描

•纳米定位

•生物技术

•量子测量

XD731系列真空三维压电纳米定位台可选配闭环传感器，经过实测，在闭环条件下，驱动控制电压与实际位移间的曲线如下图所示。

经过实测，XD731系列闭环真空压电纳米定位台的空载谐振频率大于400Hz，加载250g负载情况下的谐振频率大于150Hz。

芯明天公司接受各类真空版本压电产品的定制。

根据用户提供的真空参数需求及真空条件，芯明天基于柔性挠曲机械设计一维或多维的压电纳米定位台，在设计过程，既保证参数的达标，并着重考虑真空条件下的材料选择，不对真空环境产生不利影响，并使每个运动轴的运动控制精度达到最佳状态。

而真空实验环境的空间通常会受限，芯明天不仅在参数、材料上*优化，并在外观、尺寸等方面进行*优化。

为保证真空度及更好的工作状态，真空环境中压电纳米定位台与真空腔外的压电控制器间需通过真空法兰进行连接。芯明天公司可为用户配备各种规格尺寸的真空法兰，为用户在真空环境下的定位系统安装提供便利。

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