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压电陶瓷在半导体技术领域的应用

      在半导体领域,我公司提供各种基于压电陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命压电元件,用于定位的高性能大行程纳米定位陶瓷。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。

 

  应用

解决方案

典型产品

       产品展示

  纳米压印

  光盘测试

  掩模与晶圆对准

  物镜精密定位

  光刻

多轴压电系统

纳米定位台

压电促动器

纳米聚焦系统

定制六轴精密压电定位台

P16压电定位扫描台

P76/P72物镜压电定位器

  光学干涉

闭环压电促动器与柔性导向系统

定制大行程物镜扫描器

XP-63X高精度纳米定位器
XP-62X压电定位台


  电缆接合

压电弯片促动器

压电弯曲片

  光学测试/六轴定位

6轴并联机构微定位系统

N90 Hexapod 6轴定位系统

定制大行程Hexapod系统


  大行程纳米对准系统

铰链放大压电促动器

1-6轴压电柔性定位台

P11.XYZ压电定位台


大推力压电促动器


  光束扫描与稳定

  光学路径校正

快速压电偏摆镜系统

P34 微型压电偏摆镜

P33 高动态压电偏摆镜


  主动减震

压电堆促动器与陶瓷

大推力压电促动器

高压压电陶瓷

薄片型压电传感器/致动器

  纵向晶圆定位

压电Z/Tip/Tilt偏摆台

P54压电Z向及Z/Tip/Tilt定位平台

定制六轴精密压电纳米定位台


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