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新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动
XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台,具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔,适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。

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XD107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构,可实现XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度,分辨率和稳定性都可达nm级,定位响应时间也可达ms级。
该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器,以获取更高的精度。

产品特点

•XYZ三维运动
•行程可达100μm
•承载能力0.4kg
•中心通孔50×50mm

产品应用

•扫描显微镜
•掩模/晶圆定位
•干涉、度量衡学
•生物技术
•微操作

引线连接器

XD107系列压电扫描台的连接器共有2组,每组有3个,一组用于电压驱动信号的传输,一组用于传感反馈信号的传输。连接器的配置主要取决于所选配的压电控制器的连接器类型。XD107系列的连接器是为了匹配芯明天E00/E01系列压电控制器(下方右图),若更换其他压电控制器,可更换为其他相应的连接器类型。

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外观效果

电压位移曲线:下图中为XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线。

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线性度曲线

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技术参数

型号:XD107.XY100Z20S
运动方向:X、Y、Z
标称行程范围(0~120V):XY80/Z64μm
行程范围(0~150V):XY100/Z80μm
传感器类型:SGS
闭环分辨率:3nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.02%F.S.
俯仰/偏航/滚动:≤30μrad
空载谐振频率:XY220/Z160Hz
带载400g谐振频率:XY110/Z80Hz
承载能力:0.4kg
静电容量:XY3.6/Z1.8μF
材质:钢、铝
通孔尺寸:50×50mm
外形尺寸:94×94×24.5mm
重量:420g
应用举例

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