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压电物镜定位器在激光晶圆切割的应用
  压电物镜定位器的命名实际由它的驱动原理及其应用目的相结合而来的。“压电”指的是它的驱动原理,即利用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而产生运动;而“物镜定位器”则是它的应用目的,即用来带载物镜头调节运动。但通常情况下,压电物镜定位器本身是不包含有镜头的,它可以根据实际使用要求带载不同类型的物镜头。
 
  通常情况下,压电物镜定位器的行程约100μm,但大行程版压电物镜定位器的行程可达1mm。例如芯明天P73系列压电物镜定位器,它的Z轴直线运动范围可选200μm、500μm和1mm。同样采用柔性铰链设计机构,无摩擦、运动直线性好且闭环定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜。
 
  压电物镜定位器的特点主要是其高精度的运动以及超快速的响应速度。这个高精度到底有多高呢?分辨率可≤1nm!压电物镜定位器的分辨率可高至比1纳米(nm,1nm=10^-9m)还要微小。
 
  激光晶圆切割的原理是激光经过透镜聚焦,再通过压电物镜定位器调整焦点的位置,使焦点准确的定位在晶圆待切割部位,使被切割部位温度急速升高,然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动,在切割材料上形成由多个点连成的切缝从而达到切割的目的。
 
  压电物镜定位器坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率,即使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同时保证了优异的导向精度和动态性。
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