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中空式压电宏微复合平台,XY宏动Z向微动,适于笼式结构!

随着压电应用技术的进步与发展,研究人员已经不再满足于微小位移、高精度的场景需求,带有高精度的更大的位移行程需求不断提出。此类压电产品也随着压电技术的发展进步应运而生。芯明天XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台,采用压电粘滑原理与压电微动技术相结合的方式,满足XY轴mm级大行程,并且实现Z轴nm级的高精度。

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特点

XY宏动毫米行程,适于镜头等位置横向调整

Z向微动微米行程,适于光学聚焦调整

Φ35mm中心通孔,适于透射光应用

电压驱动控制,速度快,操作便捷

宏微复合

XYZ72SN81K13系列运动平台,采用宏微复合的方式,将压电粘滑原理与压电微动技术结合,可实现XY轴的大行程宏动,行程可达±5mm/轴;Z轴进行微动调节,行程可达8μm。

XY毫米行程运动,压电螺钉驱动

XY轴采用芯明天设计生产的压电螺钉来驱动,它利用粘滑原理,具有行程大、精度高等特点。再结合中空式滑动平台,将压电螺钉的直线运动转换至滑动平台的XY轴运动。

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Z向微米行程运动,压电直驱结构

Z轴采用PZT压电直驱结构,提供微米级行程、纳米级精度。驱动电压与运动行程成线性关系。

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配备笼式结构安装孔位

XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台是专为笼式结构中的应用而设计,结构中配备了笼式结构安装通孔,可直接集成到笼式结构中。它可用于带载任何光学元件,例如在笼式结构中带载透镜,XY向的运动调整可精确控制透镜焦点在平面内的中心位置,而Z向的微运动可对焦点在光轴上的位置进行精确的纳米级微调整。

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XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台采用φ35mm的通光孔径结构,适合于光学应用。

Z向微动位移与电压曲线

不同于XY向的驱动原理,Z向驱动时,产生的位移与驱动电压成线性关系。

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技术参数

型号:XYZ72SN81K13

运动自由度:XYZ

XY宏动行程:±5mm/轴

Z向微调行程:8μm@150V

XY最小位移增量:<30nm

Z/开环分辨率:0.3/0.1nm

Z向微调传感器:SGS

Z向空载谐振频率:2.5kHz

承载能力:正立500g/侧放200g


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