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P73.Z1000系列压电物镜定位器为您提供完精确聚焦!

可见光的波长一般在390nm780nm范围,而光学显微技术利用的是物镜对光的聚焦,以达到尽可能高的亮度范围,从而获取尽可能清晰的图像。高分辨率显微成像的景深一般为微米级或亚微米级,这在定位到景深范围内后,Z向调焦的过程将需要更高的定位精度,尤其对成像精度要求非常高的应用,例如多光子荧光显微镜、光学相干断层成像术、晶圆检测等,都要求纳米级定位精度!

 

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用过压电产品的用户,一般都了解压电产品的位移,一般在几微米到几百微米不等。但为了实现更大范围的Z向聚焦,芯明天设计了P73.Z1000系列压电物镜定位器,该物镜定位器具有1mm=1000μm)的运动范围,不仅满足了大范围调焦应用,而且提供了纳米级的定位精度!

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P73.Z1000系列压电物镜定位器是采用PZT压电陶瓷驱动,因此具有PZT压电陶瓷的很多优点,它的响应速度快,在毫秒量级,并且具有纳米级的分辨率,可提供纳米级高精度的物镜定位驱动,从而达到纳米精度的聚焦。同时,采用内置闭环反馈传感器,又解决了PZT压电陶瓷的迟滞与蠕变的问题。

P73.Z1000系列压电物镜定位器既吸收了压电陶瓷的优点,同时去除了压电陶瓷的弊端,为高分辨率显微成像、激光聚焦等应用提供了便捷而有力的工具!此外,P73.Z1000系列压电物镜定位器的安装非常便捷,采用螺纹安装,螺纹适配标准物镜,也可选择定制安装螺纹。

 

P73.Z1000S技术参数

运动轴:Z

标称行程范围800μm@120V

行程范围1000μm@150V

传感器类型SGS

/开环分辨率36/10nm

闭环线性度0.5%F.S.

闭环重复定位精度0.3%F.S.

/拉力20/5N

运动方向刚度0.02N/μm

空载谐振频率110Hz

/开环空载阶跃时间50/25ms

承载能力0.2 kg

静电容量43.2μF

材质钢、铝

重量786g

 

 


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