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中空式二维压电偏摆台

S54系列是具有中心通孔二维θxθy轴方向运动的压电偏摆台,内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使其角度偏移小,响应速度快。采用压电陶瓷驱动实现偏转范围达±1mrad,分辨率可达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。

1.jpg

 

S54的台体非常薄,厚度仅为20mm,80×80mm的中心通孔使其非常适用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用。

特点

• θx、θy偏摆运动

• 开环/闭环可供选择

• 80×80mm通孔

• 分辨率高

• 适于加速度/角速度传感器标定

电压位移曲线

2.jpg

 

应用

S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于激光合束等应用。

技术参数

型号:S54.T2

运动自由度θx、θy

偏摆角度(0~120V)±0.8mrad/轴(≈±165"

偏摆角度(0~150V)±1mrad/轴(≈±200"

闭环传感器SGS

/开环分辨率0.25μrad(≈0.05"/0.05μrad(≈0.01"

闭环线性度0.2%F.S.

闭环重复定位精度0.1%F.S.

/拉力40/8N

运动方向刚度0.5N/μm

空载谐振频率X450/Y400Hz

/开环空载阶跃时间20/3.5ms

闭环工作频率(-3dB)110Hz(空载)

承载能力1 kg

工作温度范围-20~80℃

静电容量3.6μF/轴

材质铝、钢

重量510g

出线长1.5m

 

 


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