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真空三维压电纳米定位台

P12B.XYZ100压电扫描台为3维并联式平移扫描台,台体中心通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有高导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点

 

平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现0.05%F.S.重复定位精度P12B.XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm/轴,闭环扫描精度高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域,同时适用于真空应用,满足客户真空应用需求。

特点

· 三维XYZ向运动                     

· 行程100μm/轴                     

· 中心通孔Ø10mm                     

· 适用于真空应用                     

应用领域

· 扫描显微/表面测量                    

· 共焦显微/半导体测试                  

· 晶圆定位/图像处理与稳定

· 光纤定位/光学扫描

电压位移曲线

技术参数

型号:P12B.XYZ100

运动自由度XYZ

行程范围(0~150V)100μm/轴

传感器类型SGS

中心通孔Ø10mm

外径Ø49mm

静电容量3.6μF/轴

承载能力0.2kg

工作温度范围-20~80℃

材质钢、铝

外形尺寸(高)38.5mm

出线长1.5m

传感/电压连接器LEMO

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