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P60系列Z向真空压电纳米定位台

P60.Z250为一维Z向运动压电纳米定位台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现Z向250μm位移。压电定位台具有非常高的控制精度,分辨率和稳定性可达纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。平台可选真空兼容版本,平台中的部件均适合于真空应用,真空度可达1×10^(-5)mbar。

闭环版本定位精度高

P60.Z250可以选择开环或闭环版本,闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制及优异线性运动和稳定性。

 

产品特点

• 一维Z向运动

• 行程可达250μm

• 承载可达1kg

• 可选真空兼容版本

 

应用

• 计量/干涉/ 扫描

• 纳米定位

• 光盘驱动测试

• 半导体技术

• 质量保证测试

• 微加工/精密控制

 

技术参数

型号P60.Z250

运动自由度Z

标称行程范围(0~120V)200μm

行程范围(0~150V)250μm

传感器类型SGS

/开环分辨率10/3nm

闭环线性度0.4%F.S.

重复定位精度0.1%F.S.

空载谐振频率260Hz

承载能力1kg

静电容量21.6μF

工作温度范围-20~80℃

材质钢、铝

重量(不含线) 0.4kg

真空度1×10^(-5)mbar

外形尺寸(长×宽×高)80×60×20mm

出线长1.5m

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