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P66A.X30小体积X向运动压电平台

P66A.X30为一维X向运动压电平台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化结构设计。机构采用放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现38μm范围内的纳米级位置调整。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。平台具有非常高的控制精度,分辨率和稳定性可达纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。

特性

• 一维X向运动

• 行程达38μm

• 承载力达100g

• 可选闭环版本、真空版本

 

典型应用

• 纳米级精密位置调整

 扫描显微

 微操作

 纳米定位/测量

 微加工

 

高动态 

P66A.X30为小体积高精度运动平台,特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计,内置高可靠性压电陶瓷,实现纳米级精度调整,特殊的结构设计使其具有非常大的刚度,空载谐振频率达2000Hz,满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。

 

技术参数

型号P66A.X30

运动自由度X

标称行程范围(0~120V)30μm

行程范围(0~150V)38μm

闭环传感器类型SGS

/开环分辨率10/5nm

闭环线性度0.1%F.S.

闭环重复定位精度0.1%F.S.

/拉力200/10 N

运动方向刚度10N/μm

空载谐振频率2000Hz

/开环空载阶跃时间5/1.5ms

承载能力100g

静电容量3.6μF

台体材料

电缆长度1.5m

 

推荐控制器

P66A.X30压电纳米定位台一维X向运动机构,可配套芯明天单通道压电控制器,实现精密运动控制。

E01.D1

LCD,薄膜按键, 可达625mA

RS-232/RS-422/USB通信

软件可二次开发

 

E53.D

小体积,60mA

RS-232/RS-422/USB通信

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