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XY 二维精密压电显微扫描台

P15.XY100S/K65-B1为二维XY向运动压电平台,具有超薄的外形,可进行每轴100μm范围内的纳米级位置调整,P15.XY100S/K65-B1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器,消除温度漂移,保证了纳米范围的定位稳定性。同时,通过FEA优化了直线度与平面度结构更紧凑、响应速度更快。

 

特点

• 二维XY向运动

• 行程达100μm/轴

• 承载力达500g

• 超薄尺寸

• 可安装真空吸盘

 

典型应用

• 表面检测

• 显微成像

• 激光技术

• 半导体加工与测试

 

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1压电显微扫描台,大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构,如真空吸盘

压电陶瓷驱动具有的响应速度,大大提高了成像捕获能力。对于有定位精度及稳定性需求的应用,可以选择配置SGS闭环传感器,提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移,确保了纳米级定位精度。

 

表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命

压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷,陶瓷抵抗外部环境的能力高且无漏电现象。

 

电压位移曲线

 

线性度曲线

 

技术参数

型号P15.XY100S/K65-B1

运动自由度XY

行程范围(0~120V)80μm/轴

行程范围(0~150V)100μm/轴

闭环传感器SGS

通孔尺寸:55×65mm

/开环分辨率10/5nm

闭环线性度0.15%F.S.

闭环重复定位精度0.05%F.S.

俯仰/滚动/偏航≤10μrad

空载谐振频率490Hz

/开环空载阶跃时间50/20ms

承载能力500g

静电容量14.5μF

台体材料

电缆长度1.5m

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