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S38系列小体积、高动态压电偏转镜

S38系列压电偏转镜为小体积的θx、θy二维偏转运动平台,具有非常小巧的外形结构同时能够带动镜片快速响应,提供顶端面的高精度角度运动,与其他执行器相比,柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围,可带载小型镜片做快速二维光路偏转调节,是光路调整、激光扫描等应用的理想选择。

 

特性

· θx、θy 二维偏转

· 可选行程1.5或3mrad

· 小体积,外径仅20mm

· 高谐振频率

 

高动态、高稳定性、闭环高精度

S38偏转镜结构紧凑,内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器,集成在柔性铰链导向系统,提供了更好的性能及可靠性。在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到定位精度,同时他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号,传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。

 

/闭环曲线

S38.T1开/闭环曲线。

 

闭环线性度曲线

S38.T1S闭环线性度曲线。

技术参数

型号:S38.T1

运动自由度:θx、θy

行程范围@120V:1.2mrad/轴

行程范围@150V:1.5mrad/轴

闭环传感器:SGS

闭/开环分辨率:0.5/0.02μrad

闭环线性度:0.3%F.S.

闭环重复定位精度:0.1%F.S.

空载谐振频率:7000Hz

静电容量:1.6μF/轴

重量:50g(不含线)

 

型号:S38.T2

运动自由度:θx、θy

行程范围@120V:2.4mrad/轴

行程范围@150V:3mrad/轴

闭环传感器:SGS

闭/开环分辨率:1/0.04μrad

闭环线性度:0.4%F.S.

闭环重复定位精度:0.2%F.S.

空载谐振频率:2000Hz

静电容量:3.6μF/轴

重量:60g(不含线)

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