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N31系列直线压电马达,行程可达100mm!

N31系列直线压电马达,内部采用 PZT 压电式驱动,直线运动行程可选 25、50、100mm,可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器(增量式编码器),具有更高的定位精度。可选移动台面。

 

特点

• 大出力

• 闭环误碰后自动归位

• 上电自动找零位

• 可选光栅数字闭环

• 采用耐磨材料,真空无磁兼容

应用领域

• 工业级精密定位

• 半导体技术/测试

• 晶圆检测

• 平版印刷

• 纳米压印

• 纳米计量学

• 在强磁场和真空中运动

大出力
N31系列直线压电马达的主动推拉力可达50N,被动保持力达60N。并且,N31水平放置时,可承载10kg负载下进行高精度运动。

 增量式编码器提高精度
N31可选配增量式编码器作为闭环传感器,可提高直线运动的精度。

 断电自锁、自动找零、自动归位
N31在断电后具有自锁功能,且再次上电时,会自动找零位。在使用中,若有误碰情况,N31会自动调节归位。

 

 耐磨材料

 N31直线压电马达采用高耐磨材料,寿命达千米以上。

 配套控制器

E71系列压电控制器是专为驱动N31直线压电马达而设计,它是由上位机数字控制,运动速度可调,采用逼进式到达目标位置的设定方式。

 

N31技术参数

型号:N31直线压电马达

运动自由度:X

集成传感器类型:增量式编码器

标称行程范围:25mm、50mm、100mm

速度上线:10mm/s

闭环分辨率:<10nm

开环分辨率:<0.1nm

/拉力(主动):50N

保持力(被动):60N

工作温度:0~50℃

材质:铝,不锈钢

电缆长度:1.5m

 

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