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P60系列Z向大行程直线微运动平台

P60系列Z向大行程直线微运动平台

P60.Z500是以压电陶瓷为驱动源,并采用放大机构的Z向运动的大行程直线微运动平台,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用,如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等,已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

P60.Z500系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,可实现500μm的运动行程,优异的结构可承载2kg的负载,空载谐振频率达290Hz。

 

带载阶跃时间

P60.Z500S 带载350g时,阶跃时间200ms。

技术参数

型号P60.Z500

运动自由度Z

行程范围(0~120V)400μm

行程范围(0~150V)500μm

闭环传感器SGS

/开环分辨率20/5nm

闭环线性度:0.1%F.S.

闭环重复定位精度0.05%F.S.

空载谐振频率290Hz

承载能力2kg

静电容量28.8μF

材质钢、铝

重量(不含线)0.65kg

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