P60系列Z向大行程直线微运动平台

P60.Z500是以压电陶瓷为驱动源，并采用放大机构的一维Z向运动的大行程直线微运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

P60.Z500系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可实现500μm的运动行程，优异的结构可承载2kg的负载，空载谐振频率达290Hz。

带载阶跃时间

P60.Z500S 带载350g时，阶跃时间200ms。

技术参数

型号：P60.Z500

运动自由度：Z

行程范围（0~120V）：400μm

行程范围（0~150V）：500μm

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：20/5nm

闭环线性度:0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.05%F.S.

空载谐振频率：290Hz

承载能力：2kg

静电容量：28.8μF

材质：钢、铝

重量（不含线）：0.65kg