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小体积大负载压电物镜定位器

P76.Z50S/KA小体积大负载Z轴压电物镜定位器,高度尺寸仅为37.5mm,负载能力可达500g,Z轴可实现50μm直线运动范围,采用柔性铰链设计机构,无摩擦,直线性好,闭环版本定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜,是显微成像、晶圆切割等应用的理想选择。

特性

• 行程可达50μm

 承载能力500g

 毫秒级响应时间

 闭环重复定位精度高

 聚焦稳定性好

 

大负载 高频响 高分辨率

P76.Z50S/KA是为了实现大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到超快的阶跃时间而专门设计。坚固的设计使其即使带载几百克的物镜也可以实现非常快的稳定时间及扫描频率。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同时保证了优异的导向精度和动态性负载能力达500g,兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜,也可匹配蔡司、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。

闭环阶跃时间

P76.Z50S/KA压电物镜定位器带载500g,满行程阶跃时间约20ms。

技术参数

型号P76.Z50S/KA

运动自由度Z

行程范围(0~120V)40μm

行程范围(0~150V)50μm

闭环传感器类型SGS

/开环分辨率5/2.5nm

闭环线性度0.05%F.S.

闭环重复定位精度0.02%F.S.

/拉力35/10N

运动方向刚度0.8N/μm

空载谐振频率800Hz

/开环空载阶跃时间5/2ms

承载能力0.5kg

静电容量3.2μF

材质钢、铝

重量510g

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