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3D压电式样品定位台

P12A.XY200Z100系列压电纳米定位台完全满足样品校准应用的要求45mm×45mm大孔径允许直接将物镜放置在样品下面。集成闭环反馈传感器,保证长期高精度样品调整一体式结构使得多维运动无耦合。

 

产品特性

· 三维压电式样品定位台
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 运动范围可达X250/Y250/Z100μm
· 快速响应

 

闭环定位精度高

P12A.XY200Z100系列压电纳米定位台配置高分辨率传感器,对位置实时检测并反馈到压电控制器,控制器通过PID算法调整电压修正位移,从而实现高精度定位。

 

带载阶跃时间

P12A.XY2Z100带载100g,满行程阶跃时间60ms。

技术参数

型号:P12A.XY200Z100S

运动自由度XYZ

行程范围(0~120V)XY200/Z80μm

行程范围(0~150V):XY250/Z100μm

闭环传感器:SGS

闭环分辨率:XY13/Z7nm

闭环线性度:XY0.1/Z0.2%F.S.

闭环重复定位精度:XY0.05/Z0.1%F.S.

空载谐振频率:XY240/Z150Hz

承载能力:500g

静电电容:XY7.2/Z1.8μF

材质:钢、铝

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