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P16系列稳像压电扫描台

P16系列压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心具有通孔,该系列扫描台有行程可105μm,开环、闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。

特点

•位移可达105μm

•承载能力1.5kg

•闭环重复定位精度高

•开环、闭环可选

•真空版本可选

 

频率负载曲线

 

刚度大、谐振频率高、负载能力大

P16系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,扫描台分别可实现50μm 100μm105μm 的运动行程,一体式结构设计XY 轴运动无耦合,优异的结构可承载1.5kg 的负载,空载谐振频率700Hz。P16.XY100 版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。

P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm,该系列压电扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成像等领域。

 

应用实例

P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光路调整实验中,带载镜片XY轴精密运动。

 

技术参数

型号P16.XY100

运动自由度X、Y

行程范围(0~120V):80μm或±40μm/轴

行程范围(0~150V):100μm/轴或±50μm/轴

闭环传感器SGS

通孔尺寸Ø20mm

/开环分辨率10/5nm

闭环线性度1%F.S.

闭环重复定位精度0.5%F.S.

俯仰/偏航/滚动<25μrad

/拉力30/30N

运动方向刚度0.5N/μm

空载谐振频率600Hz

/开环空载阶跃时间10/1.6ms

承载能力1.5kg

静电容量3.6μF/轴

材质钢、铝

重量220g

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