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一维大行程抗震动压电纳米定位台

XD603系列压电纳米定位台是一维X向运动压电平台,平台采用抗振动设计,内置高可靠性压电陶瓷,无摩擦柔性铰链导向机构,具有分辨率高、行程大等特点。

 

特性

一维X轴运动

行程范围可达±165μm

抗振动设计

高低温版本

闭环精度高

 

大行程、高可靠性、高稳定性

XD603为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台,可以实现±165μm的位移行程,优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点

闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列控制器配套使用,具有高稳定性。

 

技术参数

型号XD603

运动自由度X

行程范围(0~120V)±130μm

行程范围(0~150V)±165μm

闭环传感器SGS

/开环分辨率12/5nm

闭环线性度0.1%F.S.

闭环重复定位精度0.04%F.S.

俯仰/偏航/滚动1μrad

/拉力300/30N

运动方向刚度1.2N/μm

空载谐振频率490Hz

/开环空载阶跃时间80/40ms

承载能力0.6kg

静电容量24.6μF

工作温度-40~+80℃

抗振设计半正弦15g11ms

后峰锯齿波20g11ms

材质钢、铝

重量950g

 

推荐控制器

XD603系列压电位移台,可搭配芯明天E70系列压电控制器使用,模拟与数字控制,体积小巧,高性能搭配。

 

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