N62系列压电扫描台为XY 轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。

特点

• 位移可达±10μm

• 承载能力1kg

• 可定制

• 真空版本可选

典型应用

• 显微成像

• 表面检测

• 图像稳定

• 干涉/ 计量

频率负载曲线

高动态 高分辨率

N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.5nm，满行程重复定位精度达纳米级。

产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000Hz，满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。

动态性能好

下图为N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。

技术参数

型号：N62.XY20

运动自由度：XY

行程范围（0~120V）：±8μm/轴

行程范围（0~150V）：±10μm/轴

闭环传感器类型：SGS

通孔尺寸：Ø26mm

闭/开环分辨率：1/0.5nm

闭环线性度：0.3%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滚动：<10μrad

推/拉力：44/44N

运动方向刚度：X2.2/Y2.2N/μm

空载谐振频率：X2000/Y2000Hz

闭/开环空载阶跃时间：1.5/0.7ms

承载能力：1kg

静电容量：1.6μF/轴

材质：钢、铝

重量：180g