M60 系列直线压电马达，内部采用 PZT 压电式驱动，直线运动行程可选 25、50、100mm，可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器（增量式编码器），具有更高的定位精度。可选移动台面。

特点

• 大出力

• 闭环误碰后自动归位

• 上电自动找零位

• 可选光栅数字闭环

• 采用耐磨材料，真空无磁兼容

应用领域

• 工业级精度定位

• 半导体技术/测试

• 晶圆检测

• 平版印刷

• 纳米压印

• 纳米计量学

• 在强磁场和真空中运动

大出力
M60系列直线压电马达的主动推拉力可达50N，被动保持力达60N。并且，M60水平放置时，可承载10kg负载下进行高精度运动。

 增量式编码器提高精度
M60可选配增量式编码器作为闭环传感器，可提高直线运动的精度。

 断电自锁、自动找零、自动归位
M60后在断电后具有自锁功能，且再次上电时，会自动找零位。在使用中，若有误碰情况，M60会自动调节归位。

 耐磨材料

 M60直线压电马达采用高耐磨材料，寿命达千米以上。

 配套控制器

E71系列压电控制器是专为驱动M60直线压电马达而设计，它是由上位机数字控制，运动速度可调，采用逼进式到达目标位置的设定方式。

M60技术参数

型号：M60直线压电马达

运动自由度：X

集成传感器类型：增量式编码器

标称行程范围：25mm、50mm、100mm

速度上线：10mm/s

闭环分辨率：＜10nm

开环分辨率：＜0.1nm

推/拉力（主动）：50N

保持力（被动）：60N

工作温度：0~50℃

质量（包含电缆）：565g

材质：铝，不锈钢

电缆长度：1.5m