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P33系列压电偏转镜用于高频激光加工

更新时间: 2020-12-21

在涉及到微米级小孔的超快激光加工应用中集成压电偏转镜,具有加工精度高、加工速度快等特点。已广泛应用于航天器件微小孔加工、异形孔加工等领域。

 

P33.T8S系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台,提供顶端面的高精度角度运动,与其他执行器相比,柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围。P33.T8S在10mrad满行程工作频率达50Hz,连续工作15天。

特点

• 二维θx、θy 偏转

 偏转范围可达12.5mrad

 亚毫秒响应时间

 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

 

高动态 闭环精度高

在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到高稳定性及定位精度,他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号,传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。

 

技术参数

型号P33.T8S

运动自由度θx、θy

行程范围(0~120V)10mrad(≈2060)/±5mrad(≈±1030)

行程范围(0~150V)12.5mrad(≈2500)/±6.25mrad(≈±1250)

闭环传感器SGS

闭环分辨率0.5μrad(≈0.1)

闭环线性度0.25%F.S.

闭环重复定位精度0.02%F.S.

空载谐振频率3.1kHz

闭环空载阶跃时间8ms

静电容量14.5μF/轴

材质

重量340g

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