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P73.Z200大行程压电物镜定位器

P73.Z200为大行程压电物镜定位器,Z轴直线运动范围可200μm采用柔性铰链设计机构,无摩擦、运动直线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜,广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。

典型应用

• 三维成像

 干涉/计量

 表面结构分析

 共焦显微

高稳定性、长使用寿命

P73.Z200压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑、性价比高,可以与市面上很多规格型号的显微物镜配套。物镜定位器内置高可靠性压电陶瓷,与优异的机械结构相结合,具有稳定性好、使用寿命长等优点。

应用分析实例

技术参数

型号P73.Z200

运动自由度Z

行程范围(0~120V)160μm

行程范围(0~150V)200μm

闭环传感器类型SGS

闭/开环分辨率11/5nm

闭环线性度0.1%F.S.

闭环重复定位精度0.05%F.S.

推/拉力80/10N

运动方向刚度0.25N/μm

空载谐振频率210Hz

闭/开环空载阶跃时间20/10ms

承载能力0.2kg

静电容量7.2μF

材质钢、铝

重量360g

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