超高分辨率显微镜中的纳米定位系统

芯明天P15系列XYZ压电纳米定位台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位台，通过闭环控制，可以实现亚纳米级的高精度运动，在XYZ平面上的行程范围可达300微米。

P15内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动小化。闭环版本采用高精度的传感反馈，与E70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心66×66mm大通孔，非常适合显微成像、微操作等应用。

特点

• XYZ三维运动

• 行程范围：300μm/轴

• 无摩擦、高精度挠性导向系统

• 扫描平整度高

• 通孔尺寸：66×66mm

• 闭环阶跃时间：60ms

• 闭环分辨率：13nm

• 承载能力：0.5kg

带载阶跃时间

闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。

闭环压电控制器

E70.D3S压电控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

技术参数

功能：数字与模拟集成式控制器

通道数：3

模拟输入：0~10V

输出电压：0~120/150V

平均电流：70mA

带宽：10kHz

传感器类型：SGS

伺服特性：P.I+低通+陷波

通信接口：RS-232/422、USB

工作温度： 0~50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供电电压：24V DC1.5A(36W)