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超高分辨率显微镜中的纳米定位系统

超高分辨率显微镜中的纳米定位系统

芯明天P15系列XYZ压电纳米定位台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位台,通过闭环控制,可以实现亚纳米级的高精度运动,在XYZ平面上的行程范围可达300微米。

P15内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。闭环版本采用高精度的传感反馈,与E70系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心66×66mm大通孔,非常适合显微成像、微操作等应用。

特点

 XYZ三维运动

 行程范围300μm/轴

 无摩擦、高精度挠性导向系统

 扫描平整度高

 通孔尺寸66×66mm

 闭环阶跃时间:60ms

 闭环分辨率:13nm

 承载能力:0.5kg

 

带载阶跃时间

闭环上升曲线,满行程阶跃时间60ms

闭环压电控制器

E70.D3S压电控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

技术参数

功能数字与模拟集成式控制器

通道数3

模拟输入0~10V

输出电压0~120/150V

平均电流70mA

带宽10kHz

传感器类型SGS

伺服特性P.I+低通+陷波

通信接口:RS-232/422、USB

工作温度 0~50℃

尺 寸168.5×134×45.5mm

重 量1.2kg

供电电压24V DC1.5A(36W)

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