芯明天致力于纳米级精密定位与运动产品的研发、生产与销售，已经发布了多种用于显微计量学的扫描控制系统解决方案，包含高精密快速扫描的压电纳米定位台及小体积数字式伺服控制器。

P78.Z100压电显微样品台

P78系列压电显微样品台可以带动样品以亚纳米级分辨率进行高速扫描与定位，是显微计量学和高分辨率显微镜应用的重要功能。配置闭环传感器，对位移实现实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制及超高线性度和稳定性。无摩擦柔性铰链导向机构确保实现快速响应、高刚度及毫秒级响应时间，紧凑的外形结构易于集成到显微仪器设备中。

特性

· 一维Z轴运动

· 运动行程100μm

· 闭环SGS传感器

· 分辨率可达4nm

· 通孔尺寸120×70mm

· 空载阶跃时间5ms

· 空载谐频200Hz

· 承载能力1kg

· 外形尺寸：154×136×25mm

E53.D数字式伺服控制器

与传统的控制器相比，数字式伺服压电控制器具有更高的线性度，操作简单以及易于控制的优点。E53系列控制器，体积小巧，结构紧凑，且提供了快速响应的实时修正，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度，从而实现纳米定位台精确、稳定的运动。

特性

· 一通道 闭环控制

· 0~120/150V输出

· 平均电流60mA

· 放大器带宽10kHZ

· 通信接口：USB/RS-422/RS-232

· 重量：350g

· 外形尺寸：148×27.5×80mm