P22系列一维θx压电偏转镜

P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转的压电偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及零静态阻力、优异的导向精度，提供亚微弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达6mrad, 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及振动消除等）及光学和样品的静态定位。

特点

• 一维θx轴偏转

• 偏转角度达3mrad

• 亚毫秒响应时间

• 闭环定位精度高

应用

• 图像处理与稳定

• 激光扫描

• 隔行扫描、抖动

• 光学滤波器/开关

• 光束偏转

• 样品检测

运动方式

P22系列压电偏转镜如下图所示安装时，它产生上下俯仰运动，如下图所示。

安装固定与镜片粘接

P22系列压电偏转镜的镜片负载面为φ15mm的平面，镜片通过粘接方式固定于该面，我们可为您将镜片粘接好，便于您后续使用，收到压电偏转镜后只需安装，即可使用。

P22.U3S压电偏转镜在底端具有两个用于固定的M3安装螺纹孔。

结构原理与控制

P22.U3S偏转镜的移动平面由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用芯明天差分驱动压电偏转镜。

一个输出通道的压电控制器即可驱动P22.U3S压电偏转镜，可选用芯明天E53.D压电控制器，体积小，功能全，具有闭环伺服控制功能，可通过外部模拟信号或计算机软件进行控制，操作便捷、易于集成。

技术参数

型号：P22.U3S

运动自由度：θx

标称行程（0~120V）：2.5mrad（≈ 520秒）

行程范围（0~150V）：3mrad（≈ 600秒）

传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：0.3/0.1μrad

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.15%F.S.

空载谐振频率：3kHz

闭/开环空载阶跃时间：3/0.8ms

空载频率（10%行程）：100Hz

空载频率（100%行程）：40Hz

静电容量：1.8μF

材质：钢

重量：80g

注：以上参数是采用 E00/E01系列压电控制器测得。